1月20日上午，美国Ultratech公司王耘博士来宁波材料所交流访问，并作了题为“LSA技术及其在半导体中的应用”的学术报告。  

　　报告中，王耘博士指出LSA（激光瞬间退火）技术是一种颠覆性技术，并分别从LSA技术的基本原理、在半导体设备中的应用、集成电路制造的快速退火、减少非均匀光的方式，以及未来3D结构与新材料的可扩展性等几个方面进行详细介绍。交流期间，王耘博士和与会人员就共同感兴趣问题进行深入探讨交流。 

　　会后，王耘博士分别参观了激光与智能能量场制造团队实验室、测试中心、超净室以及光电光伏器件表征实验室。 　

报告会现场

　　王耘博士在半导体器件，工艺，及设备领域有二十多年经验。目前主要负责研发激光快速热处理技术及应用设备。其中LSA（激光瞬间退火）技术处于该领域世界领先地位，已被广泛应用于最新半导体芯片的生产流程，并获2009年国际半导体设备和材料协会(SEMI)颁发的年度新技术奖。 

　　曾任美国摩托罗拉公司器件与工艺合成高级工程师，负责微控制器工艺流程的研发与技术转让。后加入美国半导体设备商Ultratech。 历任项目经理，技术总监，副总裁，资深副总裁等职。在快速激光热处理与半导体工艺方面已获13项专利，另有4项正在申请之中。在学术会议和刊物发表论文近60篇。并多次获邀在相关国际会议中担任委员。  

　　早年毕业于北京大学物理系，后考取由诺贝尔奖获得者李政道发起的CUSPEA物理奖学金。美国纽约大学（NYU）物理硕士，明尼苏达大学电子工程博士。曾在纽约大学从事磁性薄膜的巨磁耦合研究。在明尼苏达大学其间，从事纳米制造，量子及单电子晶体管的研究。 

                                                                           （先进制造所）