4月15日，中国科学院宁波材料技术与工程研究所承担的中科院科研装备研制项目“半导体能带间态密度缺陷的瞬态表征仪”和“高精度高灵敏度激光加热高温核磁共振测试系统”顺利通过技术专家的现场测试，设备实际技术指标均达到实施方案要求。

　　根据项目所涉及的技术领域，本次技术验收会邀请了中科院微电子所夏洋研究员和中科院上海微系统所赵建龙研究员分别担任两个项目的技术验收组组长。验收会议上，项目负责人戴明志和许巍分别介绍了两个项目的研制过程和指标完成情况。听取汇报后，专家组审议并通过了技术测试大纲。两个专家组至设备现场按照项目技术测试大纲逐项进行测试，将测试结果与项目任务书进行比对，并查阅用户使用报告和第三方检测公司出具的检测报告，结合现场测试结果，专家组一致认为研制设备所有技术指标均达到或优于实施方案规定的要求。

　　“半导体能带间态密度缺陷的瞬态表征仪”项目基于具有授权发明专利的创新瞬态降噪缺陷表征法，研制了一套可在常温、可见光条件下高精度、低噪声、集成化的能带间态密度（Subgap density of states，DOS）缺陷瞬态测试设备，可表征瞬态DOS随能带分布、光照和温度的变化规律，填补国内外在DOS缺陷的纯电学瞬态降噪表征仪器方面的空白。DOS是影响晶体管特别是非晶半导体晶体管电学性能的微观参数，该设备的研制将为芯片晶体管性能提升、柔性电子器件电学性能的测试表征提供技术支撑。

　　“高精度高灵敏度激光加热高温核磁共振测试系统”项目研制了一套具有自主知识产权的新型激光加热高温NMR测试系统，实现了最高温度1800摄氏度下Cu、Al、In、P等元素在合金熔体中的信号灵敏探测。该设备的成功研制可实现多种合金熔体的局域结构表征和随温度演化的原子扩散动力学研究，为解决非晶合金生产制备过程中的技术难题提供重要的技术和科学指导。因其极高的探测灵敏度，下步该设备也将为研究高温氧化物玻璃、熔融盐、离子导体提供有力支撑。

验收现场

　　（公共技术中心 张晓红）