专利名称：用于晶圆精密定位的三自由度平面柔性机构及微动台
专利(申请)号：CN202410949016.0
申请日期：2024-07-16
授权日期：2024-11-19 00:00:00
发明人：袁黎明; 陈思鲁; 钱晨; 张驰; 张杰; 杨桂林; 方灶军
其他发明人：
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所