中国科学院宁波材料技术与工程研究所

一种金刚石-氧化铝复合薄膜及其制备方法

专利名称:一种金刚石-氧化铝复合薄膜及其制备方法
专利(申请)号:CN202210429348.7
申请日期:2022-04-22
授权日期:2024-07-26 00:00:00
发明人:宋惠; 江南; 褚伍波; 易剑; 李赫; 西村一仁
其他发明人:
专利权人:宁波杭州湾新材料研究院; 中国科学院宁波材料技术与工程研究所