专利名称：一种金属辅助氧化镓结晶薄膜及其制备方法
专利(申请)号：CN202111652029.4
申请日期：2021-12-30
授权日期：2024-07-02 00:00:00
发明人：曹鸿涛; 裴郁; 梁凌燕
其他发明人：
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所