专利名称：一种富硼层和硼硅玻璃层的快速无损椭偏测试方法
专利(申请)号：ZL201810638142.9
申请日期：2018-06-20
授权日期：2021-06-15 00:00:00
发明人：曾俞衡; 叶继春; 廖明墩; 王丹; 闫宝杰; 杨熹; 高平奇
其他发明人：
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所