专利名称：一种多晶硅薄膜的制备方法
专利(申请)号：ZL201110108921.6
申请日期：2011-04-28
授权日期：2013-12-25 00:00:00
发明人：万青; 黄晋; 龚骏; 竺立强; 李莉
其他发明人：
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所